这种顺序处理要求先前的层必须经过充分硬烘烤,以防止与新沉积的青色光刻胶溶剂发生化学反应 [P4]。
在纳米尺度背照式(BSI)CMOS图像传感器中实施青色(Cyan)滤光片,标志着从标准的RGB阵列向包含补色(如CMYG)的阵列模式的战略性转变 [P4]。虽然原色滤光片仅透射窄带光,但宽带补色滤光片(如青色)能同时透射绿光和蓝光,从而有效地重塑了入射光的整体光谱分布,并显著提高了光学通量 [P4]。这种增强的光子收集能力对于低光成像环境极具优势 (工程实践)。
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