Photocathode IIPX - Photo 步骤定义了 N 型电荷收集阱的空间边界,实现了对 3D 势阱容量的精确控制 [T1]。
Photocathode IIPX - Photo 步骤是背照式(BSI)CMOS 图像传感器工艺流程中一项关键的光刻操作,用于定义 N 型电荷收集阱的空间边界 [T1]。与先前用于为外围控制电路图案化深层逻辑和布线阱的 Periphery N-Well 光刻不同 (Engineering Practice),该步骤专门针对有源像素阵列,以构建钉扎光电二极管(Pinned Photodiode)的核心 p-n 结 [P2]。
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