探索完整的半导体制造工艺流程
40nm CMOS 图像传感器完整工艺流程。从像素阵列到微透镜,系统学习 CIS 制造工艺与光电集成技术。
模块分布
成熟制程节点,完整覆盖从 STI 到 Final Passivation 的全部工艺流程。适合系统学习半导体制造基础概念与 HKMG 集成工艺。
先进制程节点,采用 3D 晶体管架构。深入了解 FinFET 工艺集成、多重图案化与先进互连技术。
前沿制程节点,采用先进 FinFET 架构与多重图案化技术。探索自对准接触、先进互连与封装技术。