40nm BSI CMOS Image Sensor登录后免费

在纳米尺度背照式（BSI）CMOS图像传感器中，颜色指定是通过在传感器阵列元件上涂覆专用的红、绿或蓝滤光膜来实现的 [T1]。这一特定步骤在底层的钉扎光电二极管上方形成了蓝色滤光片阵列，从而确定了这些特定像素随波长变化的入射光子通量 [P2]。在集成流程中，该步骤紧随绿色滤光片的形成及其最终硬烘烤之后，并位于红色滤光片处理之前（工程实践）。先前的硬烘烤确保了绿色滤光片聚合物完全交联，防止其在接触蓝色光刻胶溶剂时发生溶解（工程实践）。