40nm BSI CMOS Image Sensor登录后免费

在背照式（BSI）CMOS图像传感器中，Bayer色彩滤波阵列是通过依次对不同颜色的光刻胶进行图案化处理，以使其与下方的光电二极管网格相匹配而形成的 [A2]。标准的图像传感器制造工艺采用染料掺杂聚合物彩色滤光片，这需要一个多阶段的连续制造流程 [P1]。在红色滤光片的涂胶、曝光和显影完成后，执行此特定的“最终硬烘烤”（Final Hard Bake），以充分稳定新图案化的红色树脂（工程实践）。