PMD 2 在 PMD 1 之上扩展绝缘体积以支持后续互连层 (Engineering Practice)。
PMD 2 是同一PMD膜栈的主体分段,继续在PMD 1之上建立绝缘体积。图中用相对更厚的示意带表达它的结构角色;示意比例不对应、也不公开制造厚度。
从器件结构看,它们可以合称一次“PMD膜栈形成”;但源流程把底部覆盖、主体填充和CMP前顶部分段分别计量,且PMD 3紧接CMP。保留分段能让图形准确显示每一时刻新增了哪部分,也便于追踪覆盖、填充与平坦化误差。现有资料只证明它们是分段操作,不足以断言三段一定使用不同配方。
主要风险来自分段之间的连续性、对下方…
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