所得介质薄膜必须保持对其电子密度和结构均匀性的严格控制,这些因素在很大程度上决定了其机械性能及对后续平坦化工艺的响应,这与多层叠层表征一致 [P1]。
ILD 6-6 标志着层间介质(ILD)6 模块的最终完成,作为后续直接键合互连(DBI)集成所需的晶圆键合层(WBL)发挥作用 [A2]。在沉积了前序的 ILD 6 叠层后,该层完成了顶部介质矩阵,以封装下方的金属线,并为晶圆级混合键合提供必要的原始表面 [A2]。由于后续步骤涉及通过光刻和选择性刻蚀来制造 METAL 8(DBI 焊盘)沟槽,因此 WBL 必须展现出优异的机械和结构完整性,以定义精确的互连几何结构 [P3]。
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