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光刻前清洗（Pre Litho Cleaning）步骤位于 PMD 5 沉积之后、Metal 1 (M1) 沟槽光刻之前，是后段工艺（BEOL）互连集成中至关重要的表面处理工序（工程实践）。在先进节点中，介质沉积后的表面轮廓高度依赖于底层图形几何结构，因此在进行光刻之前必须实施严格的缺陷控制 [P3]。