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这是同一CN0开孔序列的第1/3段：先移除顶层PMD 3，孔底仍停留在PMD 2上方。

为什么保留三步

从集成概览看，它们可以合称一次“CN0接触孔刻蚀”；但一次光刻只定义平面图形，孔深仍按PMD 3→2→1逐段推进。保留三个刻蚀检查点可以明确当前孔底位于哪一段，并防止把PMD 1完成误写成已经接触到硅。