40nm BSI CMOS Image Sensor登录后免费

在 纳米尺度 背照式 (BSI) CMOS 图像传感器的制造过程中，彩色滤光片阵列 (CFA) 是使用掺杂染料或颜料分散的聚合物依次构建而成的 [P2]。在蓝色滤光片的涂胶、曝光和显影完成后，执行此特定的最终硬烘烤 (Final Hard Bake) 步骤，以最终确定蓝色像素阵列的结构完整性和化学完整性 （工程实践）。