40nm BSI CMOS Image Sensor登录后免费

在背照式（BSI）CMOS图像传感器中，需要一套微透镜阵列将入射光汇聚到有源光电二极管区域，从而补偿填充系数的损失 [P1]。在形成这些上层微透镜之前，底层的彩色滤光片阵列（CFA）由于不同颜色抗蚀剂的顺序沉积和图案化，不可避免地会呈现出形貌变化和间隙 [A2]。上层OCL平坦化基底层直接涂覆在最终硬烘烤后的CFA上，以填充这些间隙并形成一个基本平坦的上表面 [A2]。