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7nm 工艺流程FinFET

前沿制程节点,采用先进 FinFET 架构与多重图案化技术。探索自对准接触、先进互连与封装技术。

7nm FinFET

714 步骤

步骤索引

  • 晶圆准备 · Starting Wafer
  • 浅槽隔离 (STI) · Pad Oxidation Pre Clean
  • 浅槽隔离 (STI) · Pad Oxide Growth
  • 浅槽隔离 (STI) · SiN Hardmask Deposition
  • 浅槽隔离 (STI) · Transfer Oxide Deposition
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半导体工艺知识平台 —— 工艺流程可视化 + Flow 感知的证据问答

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