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14nm 工艺流程FinFET

先进制程节点,采用 3D 晶体管架构。深入了解 FinFET 工艺集成、多重图案化与先进互连技术。

14nm FinFET

362 步骤

步骤索引

  • 晶圆准备 · substrate
  • Fin 图案化 · Pad Oxide Growth
  • Fin 图案化 · Pad Nitride Deposition
  • Fin 图案化 · Stop Oxide Deposition
  • Fin 图案化 · a-Si Hardmask Deposition
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半导体工艺知识平台 —— 工艺流程可视化 + Flow 感知的证据问答

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