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14nm 工艺流程
FinFET
先进制程节点,采用 3D 晶体管架构。深入了解 FinFET 工艺集成、多重图案化与先进互连技术。
14nm FinFET
362 步骤
步骤索引
晶圆准备 ·
substrate
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Pad Oxide Growth
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Pad Nitride Deposition
Fin 图案化 ·
Stop Oxide Deposition
Fin 图案化 ·
a-Si Hardmask Deposition
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