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14nm 工艺流程FinFET

先进制程节点,采用 3D 晶体管架构。深入了解 FinFET 工艺集成、多重图案化与先进互连技术。

14nm FinFET

362 步骤

步骤索引

  • 晶圆准备 · substrate
  • Fin 图案化 · Pad Oxide Growth
  • Fin 图案化 · Pad Nitride Deposition
  • Fin 图案化 · Stop Oxide Deposition
  • Fin 图案化 · a-Si Hardmask Deposition
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节点知识地图

14nm 工艺集成文章

从节点总览进入各模块的原理与集成逻辑;每篇文章都回到对应的真实 Flow Step。

节点总览14nm FinFET工艺流程:集成逻辑、器件物理与模块依赖关系
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  3. 18FIN_CUT14nm FinFET 鳍切割集成工艺流程:原理、机理与模块依赖关系
  4. 29STI14nm FinFET 浅沟槽隔离工艺流程:集成原理、物理机制与模块依赖关系

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