一个像素输出的电压,背后有光生电荷收集、储存、转移和转换等不同环节。把所有 n 型区域都叫作“感光区”,会混淆光电二极管与读出节点;把表面 p 型钉扎层当成更大的储荷区,也会误解它的作用。
感光结负责收集,FD 负责转换
第 54 步建立 N 型光电二极管相关区域,与周围掺杂共同形成结与电势边界。随后流程经过栅形成等步骤,到第 93 步建立源漏和浮动扩散相关区域。工作时,光电二极管收集的电荷通过转移栅控制送往 FD;FD 的电容让这份电荷表现为电压变化,供后续读出电路处理。
这两个区域即使有相同导电类型,也承担不同职责。前者的电势与体积影响收集和储荷,后者的电容参与电荷—电压转换。制造顺序先后并不是曝光与读出的操作时序。
Process checkpoint · 工艺坐标
理解 N Photocathode Ion Implantation 的工艺作用
从感光结开始,区分 FD 读出结与表面钉扎区的不同职责。
与「感光结、转移栅与 FD:电荷怎样变成读出信号?」相关的流程位置:40nm BSI CMOS Image Sensor · PD · Step 54
像素感光与读出:光电二极管、扩散区和钉扎层为什么感光区表面还要 p 型钉扎?
第 99 步在感光区表面建立 p 型区域。它改变近表面的电势边界,使表面状态与主要储荷区域的关系受到控制,有助于抑制表面相关暗信号。这里的核心不是扩大感光体积,而是管理感光结靠近表面的一侧。转移能否充分完成,还取决于与转移栅之间的电势衔接。
用三张结构图回答一个器件问题
先在第一张图固定感光区位置,再在第二张图找到读出相关区域,最后观察第三张图的表面钉扎位置。静态截面可以帮助区分区域,但不能直接画出工作电势、暗电流或电荷包的运动。真正需要带走的结论是:低暗信号和有效读出来自多个边界协同,而不是某一道“感光注入”独立完成。
不要把制造步骤当作像素工作时序
| 工作环节 | 主要关注的结构 | 需要回答的问题 |
|---|---|---|
| 收集与储存 | 光电二极管 | 电荷积累在哪里? |
| 转移 | 转移栅及两侧电势边界 | 电荷能否充分进入读出节点? |
| 电荷转电压 | 浮置扩散区 FD | 同一份电荷对应多大的电压变化? |
这张表描述器件工作的职责,下面三张图记录制造中区域逐步形成的状态。第 99 步制造钉扎区,并不表示像素每次读出都先完成一次钉扎工艺。
N 型光电二极管相关区域建立在硅中;后续栅形成和读出相关注入尚在流程后方。
源漏与 FD 相关区域出现在栅结构附近;应按其器件角色与感光区区分。
表面 p 型钉扎区位于感光区上方,管理近表面边界,不是另一个 FD 节点。
追踪信号时,还要区分“没有产生足够电荷”“电荷没有充分转出”和“同样电荷得到较小电压变化”。它们分别指向收集、转移和转换中的不同问题,不能只调整 FD 面积就期待全部解决。静态图提供定位依据,工作电势与噪声判断仍需正文和器件证据。
来源
参考来源
A Review of the Pinned Photodiode for CCD and CMOS Image Sensors
E. Fossum, Donald B. Hondongwa · IEEE Journal of the Electron Devices Society