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  5. 暗电流与读出噪声:分开看电荷积累和读出
器件物理2026年9月11日·作者 Joseph Swann

暗电流与读出噪声:分开看电荷积累和读出

暗电流指没有预期照明时产生或被收集的不需要电流;读出噪声指储存信号在转换和读出过程中引入的不确定性。暗电流既可能形成平均暗信号,也会带来时间波动,不能把所有“像素很吵”的现象都叫暗电流。

从黑暗中的像素开始

即使没有预期光照,传感器仍可能通过热产生和其它漏电机制积累电荷。这部分电荷形成平均暗信号,大小与器件和条件有关,也包括可用于积累的时间。

电荷产生过程本身还会波动。在简单的独立事件模型中,相关散粒噪声方差跟随平均积累事件数变化。减去平均偏移,并不能消除某次曝光中实际出现的随机波动。

Process checkpoint · 工艺坐标

40nm/BKPAS/Step 307
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工艺截面示意图 · 40nm BSI CMOS Image Sensor · 步骤 307

理解 HKD/AR1 AlO deposition 的工艺作用

查看背面表面钝化在暗电流控制中的作用。

与「暗电流与读出噪声:分开看电荷积累和读出」相关的流程位置:40nm BSI CMOS Image Sensor · BKPAS · Step 307

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读出又增加一层不确定性

电荷需要转换成电信号,再经过读出链路。晶体管噪声、采样行为和后续电路都可能贡献不确定性。折算到输入端后的大小与链路及转换增益有关,不能只用暗电流大小推断。

分量积累或变化的是什么?需要区分什么?
平均暗信号不需要电荷的平均积累平均偏移不是随机噪声
暗电流散粒噪声积累事件的随机波动减去均值不能抹去它
读出噪声转换和读出加入的不确定性暗积累很小时仍可能存在
像素间暗信号差异不同像素的平均暗行为空间不均匀不等于时间噪声

为什么一张暗场图不够

暗场图可以同时包含平均偏移、空间不均匀与时间波动。一个亮异常点,可能涉及较高暗产生、读出偏移或其它缺陷,不能仅凭图像确定单一根因。

可以做一个概念练习:比较多次暗场观察,先分开每个像素的平均值和逐帧波动,再在读出条件可比时,观察结果怎样随积累时间改变。随时间积累的分量与读出贡献是不同假设,但真实器件也可能包含混合机制或随时间变化的行为。

这是一套推理框架,不是标定配方,也不假定所有噪声都是白噪声或所有像素服从同一模型。

工艺界面与电路设计在这里相遇

半导体缺陷和界面会影响不需要电荷的产生,读出晶体管与采样结构又引入自己的行为。改善其中一项,可能只是让原先被掩盖的另一项显现,而不是使图像彻底无噪声。

同样,更高转换增益会改变后续电压噪声折算为输入电荷时的重要性,却不能证明暗产生消失。清晰的比较需要说明信号参考和测量条件,不能把电压噪声、电子数折算噪声和暗电流混在一起。

原始资料链接

  • Modern Semiconductor Devices for Integrated Circuits
  • Physics of Semiconductor Devices, Third Edition

参考来源

[T2] 教科书2010

Modern Semiconductor Devices for Integrated Circuits - MOS Transistor

Chenming Hu

Modern Semiconductor Devices for Integrated Circuits · Ch6 MOS Transistor

[T3] 教科书2006

Physics of Semiconductor Devices - Full

S. M. Sze, Kwok K. Ng

Physics of Semiconductor Devices · ISBN 978-0-471-14323-9

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常见问题

减去暗场可以消除暗电流噪声吗?
它可以修正估计的平均图样,但随机波动仍在,参考图本身也可能增加不确定性。
热像素一定是读出噪声问题吗?
不是。多种机制都能产生异常点,需要结合时间行为和工作条件依赖区分。
暗电流很低就保证传感器噪声很低吗?
不保证,读出和其它贡献仍需考虑。

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目录

  • 从黑暗中的像素开始
  • 读出又增加一层不确定性
  • 为什么一张暗场图不够
  • 工艺界面与电路设计在这里相遇
  • 原始资料链接

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