向有据可查的半导体工艺 AI 提问

每个回答都基于真实论文、专利与教科书检索并标注 [T][P][A] 来源 — 不是通用 chatbot 的凭空作答。

• 三源语料：论文 + 专利 + 教科书混合检索 + 重排
• 每条数据声明都挂引用，可追溯至原文
• 与工艺流程同源 — 引用可深链到使用它的步骤