光学串扰关注光到达或吸收在邻近像素相关区域的过程;电学串扰关注已经产生的载流子进入非预期收集区的过程。最终图像中两者都可能表现为混合,因此仅看到像素边界变模糊,不能确定机制。
用光子吸收作为分界事件
吸收之前,问题是光怎样在膜栈和半导体中传播。界面、几何和入射方向影响光能量到达的位置。吸收产生载流子之后,输运与收集取决于半导体电场、扩散和边界。
这个分界适合教学,但不表示两套系统彼此独立。一项结构改变可以同时影响光路与载流子收集。
Process map · 流程地图
相似图像可能来自不同路径
设想本应属于像素 A 的光,在由像素 B 收集的区域吸收。即使 B 的局部电荷收集完全正确,也无法恢复原来的空间归属;在这个例子中,问题位于光学路径。
再设想吸收发生在 A 的预期区域,但部分载流子迁移到 B。改善最初光学聚焦,不一定消除这种迁移,电荷收集路径需要单独解释。
| 阶段 | 主要物理对象 | 相关边界 |
|---|---|---|
| 光传播 | 光能量 | 折射、反射与吸收结构 |
| 光子吸收 | 载流子产生位置 | 光能量发生转换的区域 |
| 载流子输运 | 电子与空穴 | 电场、扩散和半导体几何 |
| 信号读出 | 已收集电荷与电信号 | 读出链路;电子耦合是另一类混合来源 |
隔离结构需要两套解释
沟槽既可能改变载流子路径,也可能成为光学边界,效果取决于材料、几何和界面。研究 DTI 光学效率的工作说明,应明确评价光学行为,不能从“隔离”二字自动推断。
同时,新增半导体界面可能影响电荷产生或收集。意在减少混合的结构,如果界面不合适,也可能引入另一项问题。因此,“隔离更好”必须说明评价的是哪种机制与结果。
不要从单一症状确定原因
颜色混合或空间对比度下降,可以成为调查串扰的起点,却不是唯一机制指纹。照明光学、像素采样和后续信号处理都可能影响图像。即使只看传感器内部,读出链路电耦合也不同于像素体积内的载流子迁移。
严谨解释应先限定范围:本文比较的是光传播混合与载流子收集混合。随后依次问吸收发生在哪里、产生的载流子最后被哪里收集。这比把所有混合归给最近的沟槽或滤光层更有解释力。
原始资料链接
参考来源
Physics of Semiconductor Devices - Full
S. M. Sze, Kwok K. Ng
Physics of Semiconductor Devices · ISBN 978-0-471-14323-9
Deep Trench Isolation and Inverted Pyramid Array Structures Used to Enhance Optical Efficiency of Photodiode in CMOS Image Sensor via Simulations
Chang-Fu Han, Jiun-Ming Chiou, Jen-Fin Lin · Sensors