14nm · 节点进阶课件

SOG、SOC与FCVD有什么不同？

比较SOG、SOC与FCVD的材料类型、成膜方式和后处理目标。

• 区分SOG、SOC与FCVD的材料和成膜方式。
• 比较表面覆盖、间隙填充与平坦化的目的。
• 明确14nm Flow当前提供的FCVD步骤范围。

相关Flow提供FCVD步骤，未包含SOG/SOC专属流程。

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