28nm · 节点进阶课件

先孔还是先槽，下一步会接收到什么？

比较通孔先行与线槽先行路线，理解临时填充和后续金属化的关系。

• 识别通孔、线槽与临时填充材料的不同状态。
• 比较两种路线给下一工序留下的结构条件。
• 区分最终截面与判断工艺顺序所需的证据。

28nm Flow提供V1/M2参考步骤；单张最终截面不能确定先孔或先槽。

正在确认课程访问权限…